走査型プローブ顕微鏡

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995012473
Publication number (International publication number)：1996201403
Application date： Jan. 30, 1995
Publication date： Aug. 09, 1996
Summary：

【要約】【目的】この発明は、環境に左右されずに走査速度を低下させることなく、高分解能で且つ高精度な試料表面情報測定を可能にするため、予備走査を行った後測定走査を行い、圧電体印加電圧若しくは走査時間が情報テーブルに格納された測定点変位情報に達した点で試料表面情報を測定することを特徴とする。【構成】タイマ22内蔵のマイクロコンピュータ23は、Z制御部24、X走査D/A変換器25、Y走査D/A変換器26を経てXYZ駆動用円筒型圧電体27を制御する。該圧電体27下端の鏡体32内のX変位センサ33及びY変位センサ34は、試料台28の2次元方向の移動量を検出し、X変位A/D変換器35及びY変位A/D変換器36を介してマイクロコンピュータ23に送る。X変位情報テーブル37及びY変位情報テーブル38は、マイクロコンピュータ23により、圧電体X及びY印加電圧を測定点X及びY変位情報として格納する。

Claim (excerpt)：

プローブ若しくは試料を走査させる圧電体と、この圧電体をXYZ方向の少なくとも一方向に変形させる駆動手段と、上記圧電体のXYZ方向の少なくとも一方向の変位を検出する変位検出手段と、試料表面情報を測定すべき点の圧電体の測定点変位情報を格納する情報格納手段と、上記試料表面情報を測定する前の予備走査時に、上記情報格納手段に上記試料表面情報の測定点変位情報を予め格納させるテーブル作成手段と、上記試料表面情報を測定する測定走査時に、上記情報格納手段に格納された測定点変位情報に基いた測定点に於いて該試料表面情報を測定する測定手段とを具備することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (4)：

G01N 37/00 , G01B 7/34 , G01B 21/30 , H01J 37/28

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

走査型トンネル顕微鏡、走査型原子間力顕微鏡及び類似の測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-022871 Applicant：株式会社日立製作所, 日立建機株式会社
特開平4-355231
特開平4-369407

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