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J-GLOBAL ID：200903085281089693

試料保持装置

Inventor：
沼賀 拓興

About 沼賀 拓興


Applicant, Patent owner：
東芝機械株式会社

About 東芝機械株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994258801
Publication number (International publication number)：1996097133
Application date： Sep. 28, 1994
Publication date： Apr. 12, 1996
Summary：
【要約】【目的】 試料を歪ませることなく所定の位置に正確に保持可能にする【構成】 ホルダ本体10上に3つのヒンジ板11によりチャック基板12を上下方向にのみ移動自在に取り付ける。チャック基板12には3つの突起18が設けられ、試料17を3点支持するようになっている。試料17は突起18と同軸上に上下動自在に配置された3つのクランパ19によって歪を生じることなくすなわち平面度を変化させることなくチャック基板12に固定される。試料17の高さ及び姿勢(傾き)はチャック基板12の下方に設けた基板支持手段の3つのピン14を上下させることにより調整され、かつ設定される。
Claim (excerpt)：
荷電ビーム描画装置等における試料保持装置において、ホルダ本体と、このホルダ本体上に上下方向にのみ移動自在に取り付けられたチャック基板と、ホルダ本体に取り付けられ前記チャック基板をそれぞれ高さ調整可能に3点で支持する基板支持手段と、前記ホルダ本体に上下動自在に取り付けられ前記チャック基板とこのチャック基板上に3点支持により置かれた試料との3点支持部の各々を上下方向から挟み込む3つのクランパとを備えたことを特徴とする試料保持装置。
IPC (3)：
H01L 21/027 ,  H01L 21/68 ,  B23Q 3/06 302
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3)
  • 特開平3-236215
  • 電子ビーム露光装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-126789   Applicant：日本電気株式会社
  • 特開昭62-286053

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