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J-GLOBAL ID：200903085486711842

ステ-ジ装置、露光装置およびデバイス製造方法ならびにステ-ジ駆動方法

Inventor：
是永 伸茂

About 是永 伸茂

, 
海老沼 隆一

About 海老沼 隆一


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999197470
Publication number (International publication number)：2000106344
Application date： Jul. 12, 1999
Publication date： Apr. 11, 2000
Summary：
【要約】【課題】 高速高精度な位置決め装置を提供する。【解決手段】 本発明のステージ装置は、所定方向に移動可能なステージと、該ステージに該所定方向の力を与える第1のユニットと、該第1のユニット又は該第1のユニットを備えた構造体を移動させるための移動装置と、該ステージの位置又は移動量を計測するための第1の計測器と、該第1のユニット又は該構造体の位置又は移動量を計測するための第2の計測器とを備え、前記ステージは、前記第1の計測器の計測値に基いて制御され、前記移動装置は、前記第2の計測器の計測値に基いて制御されることを特徴とする。
Claim (excerpt)：
移動可能なステージと、該ステージに力を与える第1のユニットと、該第1のユニット又は該第1のユニットを備えた構造体を移動させるための移動装置と、該ステージの位置又は移動量を計測するための第1の計測器と、該第1のユニット又は該構造体の位置又は移動量を計測するための第2の計測器とを備え、前記ステージは、前記第1の計測器の計測値に基いて制御され、前記移動装置は、前記第2の計測器の計測値に基いて制御されることを特徴とするステージ装置。
IPC (9)：
H01L 21/027 ,  B23Q 5/28 ,  G03F 7/20 521 ,  G12B 5/00 ,  H01L 21/68 ,  H02K 41/03 ,  B23Q 1/30 ,  B23Q 1/56 ,  G01B 11/00
FI (9)：
H01L 21/30 503 A ,  B23Q 5/28 B ,  G03F 7/20 521 ,  G12B 5/00 T ,  H01L 21/68 K ,  H02K 41/03 A ,  B23Q 1/30 ,  G01B 11/00 G ,  B23Q 1/18 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (11)
  • 特開平2-139150
  • 走査型投影露光装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-174161   Applicant：株式会社ニコン
  • 走査型露光装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-135615   Applicant：株式会社ニコン
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