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J-GLOBAL ID：200903085564184099

静電容量型圧力センサの製造方法及び静電容量型圧力センサ

Inventor：
境 浩司

About 境 浩司


Applicant, Patent owner：
松下電工株式会社

About 松下電工株式会社


Agent (1)： 西川 惠清 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001292449
Publication number (International publication number)：2003098026
Application date： Sep. 25, 2001
Publication date： Apr. 03, 2003
Summary：
【要約】【課題】 ゲッター材を用いずに容量ギャップ内の圧力を精度よく調整することができる静電容量型圧力センサを提供する。【解決手段】 固定電極3を備える第1の基板1と被測定圧力を受けて固定電極3との相対位置を変化させる可動電極を備える第2の基板2とを陽極接合する。接合時には固定電極3と可動電極との間の容量ギャップは第1の基板1に設けた貫通穴1aに連通している。次に、第1の貫通穴1aを介して容量ギャップ内の気体を排気した後、容量ギャップと貫通穴1aとの間を封止するように金属薄膜の端子8aを形成する。
Claim (excerpt)：
固定電極を備える第1の基板と、密封された容量ギャップを介して前記固定電極に対向する可動電極を備え前記第1の基板に接合される第2の基板と、前記固定電極および前記可動電極にそれぞれ電気的に接続された第1の端子および第2の端子とを備え、前記第2の基板は被測定圧力を受けて前記可動電極の前記固定電極に対する相対位置を変化させる受圧部を備え、前記容量ギャップ内の圧力と被測定圧力との圧力差を前記可動電極と前記固定電極との間の静電容量に変換する静電容量型圧力センサの製造方法であって、前記固定電極および前記可動電極にそれぞれ電気的に接続される第1および第2の電極パッドを設けた第2の基板に、前記第1および第2の電極パッドに対応する位置にそれぞれ貫通穴を設けた前記第1の基板を、少なくとも一方の貫通穴と前記容量ギャップとを連通させた形で陽極接合した後、前記容量ギャップ内の圧力が所定の圧力になるように周囲の圧力を調整した状態において各貫通穴をそれぞれ封止するとともに前記第1および第2の電極パッドにそれぞれ電気的に接続され且つ前記第1の基板の外側面に露出することにより前記第1および第2の端子となる導電性薄膜を成膜することを特徴とする静電容量型圧力センサの製造方法。
IPC (2)：
G01L 9/12 ,  H01L 29/84
FI (2)：
G01L 9/12 ,  H01L 29/84 Z
F-Term (21)：
2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE25 ,  2F055FF11 ,  2F055GG01 ,  4M112AA01 ,  4M112BA07 ,  4M112CA03 ,  4M112CA04 ,  4M112CA06 ,  4M112CA11 ,  4M112CA13 ,  4M112DA03 ,  4M112DA06 ,  4M112EA06 ,  4M112EA07 ,  4M112EA11 ,  4M112EA13 ,  4M112FA01
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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