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J-GLOBAL ID:200903085571330599
プラズマディスプレイパネルの製造方法
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999173741
Publication number (International publication number):2001006536
Application date: Jun. 21, 1999
Publication date: Jan. 12, 2001
Summary:
【要約】【課題】 簡易な方法で精度の高いパターン形成が可能なプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供すること。【解決手段】電極層が形成された基板20上に、第1のガラス材料を含有した非感光性樹脂層21とそれに積層された第2のガラス材料を含有した感光性樹脂層22を設け、所定パターンを有するレジストマスク23を用いて露光して現像することにより感光性樹脂層22に所定のパターンを形成し、その後非感光性樹脂層21及びパターニングされた感光性樹脂層22を同時に焼成することにより第1及び第2の絶縁層25を形成する。
Claim (excerpt):
プラズマディスプレイパネルの一方の基板上に所定パターンの電極層を形成し、その上に第1の絶縁層及び所定パターンの放電領域を制限する第2絶縁層を積層形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記電極層が形成された基板上に、第1のガラス材料を含有した非感光性樹脂層とそれに積層された第2のガラス材料を含有した感光性樹脂層を設け、前記感光性樹脂層を所定パターンを有するマスクを用いて露光して現像することにより前記感光性樹脂層に所定のパターンを形成し、その後前記非感光性樹脂層及び前記パターニングされた感光性樹脂層を同時に焼成することにより前記第1及び第2の絶縁層を形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
IPC (2):
FI (2):
H01J 9/02 F
, H01J 11/02 B
F-Term (12):
5C027AA05
, 5C027AA09
, 5C040FA01
, 5C040FA04
, 5C040GB03
, 5C040GB14
, 5C040GD09
, 5C040GF19
, 5C040JA15
, 5C040KA08
, 5C040KA16
, 5C040MA26
Patent cited by the Patent: