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J-GLOBAL ID：200903085580525122
平板材の内部検査方法及び装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中井 宏行
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998123169
Publication number (International publication number)：1999316197
Application date： May. 06, 1998
Publication date： Nov. 16, 1999
Summary：
【要約】【課題】自動化ラインでの平板材の連続的な検査に適し、内部欠陥の平板材の厚さ方向の位置や広がり程度までも検査することができ、また小型化可能な、内部検査方法および内部検査装置を提供する。【解決手段】電磁波照射器3に対して平板材Aを連続移動させながら、電磁波を照射して得られた同一の平板材Aの複数の照射角の異なる透過イメージ画像を取り込み、それらの透過イメージ画像の内から、内部欠陥像a1〜c2の映し出された2以上の透過イメージ画像A1、A2を選択し、それぞれの透過イメージ画像A1、A2における対応する内部欠陥像a1〜c2の変化を解析することによって、平板材Aの内部欠陥a、b、cの厚み方向の位置と広がり程度を識別する。
Claim (excerpt)：
平板材に電磁波を照射して得た透過イメージ画像を解析して、内部欠陥を検査する方法であって、電磁波照射器に対して平板材を連続移動させながら、電磁波を照射して得られた同一の平板材の複数の照射角の異なる透過イメージ画像を取り込み、かくして得られた透過イメージ画像の内から、内部欠陥像の映し出された2以上の透過イメージ画像を選択し、それぞれの透過イメージ画像における対応する内部欠陥像の変化を解析することによって、平板材の内部欠陥の厚み方向の位置と広がり程度を識別することを特徴とする平板材の内部検査方法。
IPC (3)：
G01N 23/04
, G01N 21/88
, G01N 23/18
G01N 23/04
, G01N 21/88 D
, G01N 23/18
Cited by examiner (7)
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