表面処理装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：梅田明彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995268000
Publication number (International publication number)：1997092493
Application date： Sep. 22, 1995
Publication date： Apr. 04, 1997
Summary：

【要約】【解決手段】 2枚の石英ガラス板31、32を所定の間隔をもって対向させ、かつ左右両側辺を樹脂材料33で接着して、その内部に上下方向のガス流路30を画定したノズル23を形成する。ノズルは、セラミック材料からなるノズルホルダ26〜29により保持される。電源電極及び接地電極は、ノズルの両側に配置され、かつノズルホルダに関して下辺及び一方の側辺に幾分遊び40、41を有するように、その上辺及び他方の側辺がボルト38、39で固定される。放電ガスをノズル上端からガス流路内に導入し、両電極間で放電させて放電ガスの励起活性種を生成し、これを含む放電ガス流をノズル下端のガス噴出口34から被処理材39表面に向けて噴出させる。【効果】放電により発生する熱に対して電極を冷却する必要が無いので、処理レートを高く維持できる。装置の構造・組立が簡単。局所的な表面処理ができる。

Claim (excerpt)：

所定のガスを被処理材の表面に向けて送出するためのガス流路と、前記ガス流路内で前記ガスに大気圧又はその近傍の圧力下で気体放電を発生させ、それにより前記ガスの励起活性種を生成するための一対の電源電極及び接地電極とからなり、前記励起活性種を含む前記ガスを前記被処理材表面に噴出させるようにした表面処理装置であって、前記ガス流路が、2枚の誘電体からなる板を所定の間隔をもって対向させ、かつその間隙に供給される前記ガスを前記誘電体板の一方の側辺から前記被処理材表面に噴出させるように形成され、前記各電極が、前記誘電体板を挟んでその外側に対向配置されることを特徴とする表面処理装置。

IPC (4)：

H05H 1/46 , C23C 16/50 , C23F 4/00 , H01L 21/3065

FI (4)：

H05H 1/46 M , C23C 16/50 , C23F 4/00 A , H01L 21/302 J

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

表面処理方法及びその装置、半導体装置の製造方法及びその装置、並びに液晶ディスプレイの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-124250 Applicant：セイコーエプソン株式会社
特開平4-329249
イオン源電極
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-326765 Applicant：石川島播磨重工業株式会社

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