カラーフィルタ用着色ペーストのパターン形成方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993096106
Publication number (International publication number)：1994308315
Application date： Apr. 22, 1993
Publication date： Nov. 04, 1994
Summary：

【要約】【構成】本発明は、カルボキシル基を有するポリマを含む感光性あるいは非感光性のカラーフィルタ用着色ペーストを透明基板上に塗布、プリベーク後、選択的に露光し、つづいて少なくともアルカリ、およびアミノ基を含まない有機溶剤を含む水溶液を用いて現像することを特徴とするカラーフィルタ用着色ペーストのパターン形成方法に関する。【効果】本発明の現像方法によって得られる着色ペーストのパターンは、有機溶剤によって膨潤性が高められ膜の性質が変化し、露光部分と未露光部分の境界が明確になるために切れが良くなり凹凸の無い平坦なエッジが得られる。また現像の許容幅が広がるために歩留りが向上する。その結果、高品質で収率の高いカラーフィルタが製造できる。

Claim (excerpt)：

カルボキシル基を有するポリマを含む感光性あるいは非感光性のカラーフィルタ用着色ペーストを透明基板上に塗布、プリベーク後、選択的に露光し、つづいて少なくともアルカリ、およびアミノ基を含まない有機溶剤を含む水溶液を用いて現像することを特徴とするカラーフィルタ用着色ペーストのパターン形成方法。

IPC (2)：

G02B 5/20 101 , G02F 1/1335 505

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

感光性転写材料及び画像形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-012980 Applicant：富士写真フイルム株式会社
感光性樹脂組成物及び画像形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-006385 Applicant：富士写真フイルム株式会社
カラ-フィルタ形成用感光性樹脂
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-347143 Applicant：株式会社日立製作所, 日立化成工業株式会社

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