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J-GLOBAL ID：200903086026679637

微小部蛍光X線分析装置

Inventor：
森岡 和

About 森岡 和

, 
桑原 章二

About 桑原 章二


Applicant, Patent owner：
株式会社島津製作所

About 株式会社島津製作所


Agent (1)： 塩野入 章夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002139667
Publication number (International publication number)：2003329621
Application date： May. 15, 2002
Publication date： Nov. 19, 2003
Summary：
【要約】【課題】 微小部蛍光分析装置に一次X線フィルタを設け、特性X線の分析能を高めること。【解決手段】 X線集光用キャピラリレンズ3を用いることによりX線を試料Sの微小部分に集光させて微小部を分析する蛍光X線分析装置1を構成すると共に、このX線集光用キャピラリレンズ3とX線源2との間に一次X線フィルタ(一次X線フィルタ変換装置20)を配置することにより、X線の集光位置の近傍付近への構成要素の配置が困難な微小部蛍光X線分析装置への一次X線フィルタの設置を可能とする。
Claim (excerpt)：
X線源と、X線源から発生したX線を試料に集光させるX線集光用キャピラリレンズと、試料から発生した特性X線を検出する検出器とを備える微小部蛍光X線分析装置であって、前記X線源と前記X線集光用キャピラリレンズとの間に、一次X線フィルタを備えることを特徴とする微小部蛍光X線分析装置。
F-Term (11)：
2G001AA01 ,  2G001BA04 ,  2G001CA01 ,  2G001EA06 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001JA01 ,  2G001KA01 ,  2G001PA11 ,  2G001PA14 ,  2G001SA02
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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