Pat
J-GLOBAL ID：200903086063276607

パターンの位置合わせ方法

Inventor：
井田 徹

About 井田 徹


Applicant, Patent owner：
日本アビオニクス株式会社

About 日本アビオニクス株式会社


Agent (1)： 山川 政樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003195796
Publication number (International publication number)：2005030893
Application date： Jul. 11, 2003
Publication date： Feb. 03, 2005
Summary：
【課題】位置決めマークの登録の手間を軽減する。【解決手段】マスタパターンMからX方向に平行な複数のパターンを位置決めマークFmxとして選定し、Y方向に平行な複数のパターンを位置決めマークFmyとして選定する。位置決めマークFmx,Fmyに対応する被測定パターンPの位置決めマークFpx,Fpyを探索する。マスタパターンと被測定パターンの位置決めマークFmx,Fpxの位置を合わせると共に位置決めマークFmy,Fpyの位置を合わせる。【選択図】 図5
Claim (excerpt)：
基準となるマスタパターンの画像とカメラで撮像した被測定パターンの画像とを比較することにより被測定パターンを検査するパターン検査方法において、マスタパターンと被測定パターンの位置合わせを行う位置合わせ方法であって、 前記マスタパターンからX方向に平行な複数のパターンを第1の位置決めマークとして選定し、この選定したパターンの幅の中心座標を前記第1の位置決めマークの座標とする第1の選定手順と、 前記マスタパターンから前記X方向と垂直のY方向に平行な複数のパターンを第2の位置決めマークとして選定し、この選定したパターンの幅の中心座標を前記第2の位置決めマークの座標とする第2の選定手順と、 前記マスタパターンの第1の位置決めマークに対応する被測定パターンの第1の位置決めマークを探索する第1の探索手順と、 前記マスタパターンの第2の位置決めマークに対応する被測定パターンの第2の位置決めマークを探索する第2の探索手順と、 前記マスタパターンと前記被測定パターンの互いの第1の位置決めマークの位置を合わせると共に互いの第2の位置決めマークの位置を合わせることにより、前記マスタパターンと前記被測定パターンの位置合わせを行う位置合わせ手順とを有することを特徴とするパターンの位置合わせ方法。
IPC (3)：
G01B11/00 ,  G06T1/00 ,  G06T7/60
FI (3)：
G01B11/00 H ,  G06T1/00 305C ,  G06T7/60 150B
F-Term (58)：
2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065AA14 ,  2F065AA17 ,  2F065AA20 ,  2F065AA31 ,  2F065AA56 ,  2F065BB02 ,  2F065CC02 ,  2F065CC17 ,  2F065CC25 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065FF61 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065MM03 ,  2F065NN20 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ43 ,  2F065RR05 ,  2F065TT08 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CE12 ,  5B057DA07 ,  5B057DB02 ,  5B057DB08 ,  5B057DC05 ,  5B057DC33 ,  5L096AA06 ,  5L096EA03 ,  5L096EA14 ,  5L096EA15 ,  5L096EA16 ,  5L096EA35 ,  5L096EA43 ,  5L096FA25 ,  5L096FA26 ,  5L096FA37 ,  5L096FA60 ,  5L096FA66 ,  5L096FA67 ,  5L096FA69 ,  5L096GA19 ,  5L096GA32 ,  5L096JA09 ,  5L096LA04 ,  5L096LA05
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)
  • 特開平2-291906
  • パターンの位置合わせ方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-130205   Applicant：日本アビオニクス株式会社

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