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J-GLOBAL ID：200903086071090407

テーパ状側壁を持つフィルム構造の作製方法とフィルムマトリクスアレイ

Inventor：
チェン-イー リン

About チェン-イー リン

, 
ポール パトリック マルグルー

About ポール パトリック マルグルー


Applicant, Patent owner：
ルーセント テクノロジーズ インコーポレイテッド

About ルーセント テクノロジーズ インコーポレイテッド


Agent (1)： 三俣 弘文
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997146787
Publication number (International publication number)：1998081981
Application date： Jun. 04, 1997
Publication date： Mar. 31, 1998
Summary：
【要約】【課題】 所定の角度のテーパ状側壁を形成可能な、大量生産での制御性および生産効率に優れた方法を提供する。【解決手段】 基板31上に金属からなる第1層32を形成し、第1層の上に異なる材料からなる第2層34を形成し、第2層の上にレジスト層38をコーティングしてパターンを形成し、第1層と第2層をエッチング液でエッチングする。第2層の材料としては、この第2層の水平方向のエッチング速度を増大させるように第1層と相互作用する材料を選択し、それにより、テーパ状側壁を持つ金属フィルム構造を作製する。好ましくは、第1層はCr層、第2層はMo層であり、エッチング液は、硝酸アンモニウムセリウムである。この方法の好ましい適用は、マトリクス液晶ディスプレイにおいて使用される薄いフィルムトランジスタアレイ用の薄いフィルムアレイを作製することである。
Claim (excerpt)：
テーパ状側壁を持つフィルム構造の作製方法において、A)基板上に金属からなる第1層を形成するステップと、B)前記第1層の上にこの第1層とは異なる材料からなる第2層を形成するステップと、C)前記第2層の上にレジストパターンを形成するステップと、D)前記ステップCで得られた構造を、第2層の水平方向のエッチング速度を増大させるようにして前記第1層の金属と前記第2層の材料を相互作用させるようなエッチング液でエッチングし、それによって、テーパ状側壁を持つ金属フィルム構造を作製するステップとを有することを特徴とするテーパ状側壁を持つフィルム構造の作製方法。
IPC (3)：
C23F 1/00 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 29/786
FI (3)：
C23F 1/00 Z ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 29/78 612 C
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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