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J-GLOBAL ID：200903086212807149

形状転写用金型、それを用いた製品の製造方法及び得られる微細形状をもつ製品

Inventor：
藤村 康浩

About 藤村 康浩


Applicant, Patent owner：
リコー光学株式会社

About リコー光学株式会社


Agent (1)： 野口 繁雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004170802
Publication number (International publication number)：2005349619
Application date： Jun. 09, 2004
Publication date： Dec. 22, 2005
Summary：
【課題】 複数個の製品分のパターンを高精度に配置した金型を歩留まりよく得る。 【解決手段】 ベース基板10は円板状のガラス基板で平坦で互いに平行な表面と裏面をもっている。その中央部に4つのテンプレート12が配置されている。テンプレート12もガラス製であり、形状は正方形で、それぞれ平坦で互いに平行な表面と裏面をもっており、表面には転写しようとする微細形状が形成されている。テンプレート12は裏面側でベース基板10の表面にフッ酸接合法により直接接合されて固着されている。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
転写形状を表面に有する複数個のテンプレートがベース基板の平面上に配置され、それらのテンプレートの裏面が前記ベース基板に固着され、かつそれらのテンプレートの表面が同一高さになっていることを特徴とする形状転写用金型。
IPC (4)：
B29C33/38 ,  B29C59/00 ,  B81C5/00 ,  H01L21/027
FI (4)：
B29C33/38 ,  B29C59/00 C ,  B81C5/00 ,  H01L21/30 502D
F-Term (30)：
4F202AA43 ,  4F202AA44 ,  4F202AF01 ,  4F202AH33 ,  4F202AJ06 ,  4F202CA07 ,  4F202CB01 ,  4F202CD23 ,  4F202CD24 ,  4F202CD30 ,  4F202CK27 ,  4F209AC03 ,  4F209AD08 ,  4F209AF00 ,  4F209AF01 ,  4F209AG01 ,  4F209AG03 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH53 ,  4F209AJ06 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PC03 ,  4F209PG01 ,  4F209PH02 ,  4F209PH27 ,  4F209PQ11 ,  4F209PW37 ,  5F046BA10
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 特開2002-391400号公報
Cited by examiner (3)

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