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J-GLOBAL ID：200903086318538015

運動センサ

Inventor：
白鳥 典彦

About 白鳥 典彦


Applicant, Patent owner：
ミヨタ株式会社

About ミヨタ株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998044639
Publication number (International publication number)：1999230759
Application date： Feb. 09, 1998
Publication date： Aug. 27, 1999
Summary：
【要約】【課題】 2軸以上の角速度あるいは加速度を検出する運動センサにおいて、振動体上の電極と外部回路側の電極とを総合的に接続処理する合理的な構成および更に性能向上に関する構成を提供することによって、多機能型の運動センサの実用化に寄与すること。【解決手段】 十字型振動体の各脚に設けた検出あるいは励振用の圧電素子の電極の引出し線を前記振動体の1面側に設けた接続平面上のパッド群に集め、該接続平面上のパッド群を外部回路への接続起点としたこと。その他振動体上へのIC搭載、支持構造、検出軸の回転、圧電素子の一体化、振動体構造材質、3軸角速度あるいは加速度、角加速度検出手法、多機能切替え回路等の改善を含む。
Claim (excerpt)：
中央基部から一平面に平行に四方に突出する4個の片持振動脚を有する振動体を基礎とし、前記各振動脚を前記平面に垂直な方向に隣接振動脚と逆位相の屈曲振動を行うよう圧電的に励振する電極と、前記平面内に回転軸を有する回転運動に基づいて前記振動に伴うコリオリの力による前記平面内の屈曲歪みを圧電的に検出する検出電極とを設け、前記各電極の引出し線を前記振動体の1面側に設けた接続平面上のパッド群に集め、該接続平面上のパッド群を外部回路への接続起点としたことを特徴とする運動センサ。
IPC (2)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
FI (2)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
  • 振動ジャイロおよび防振装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-071442   Applicant：キヤノン株式会社
  • 特開平2-218914
  • 内蔵試験回路を有する回転速度センサ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-165004   Applicant：ニューエスディーインコーポレイテッド
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