気体放電表示装置の形成方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：吉田研二 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994151083
Publication number (International publication number)：1996017344
Application date： Jul. 01, 1994
Publication date： Jan. 19, 1996
Summary：

【要約】【目的】気体放電表示装置の形成方法においてリブの微細加工を行う。また蛍光体層の抜けむらを防止する。【構成】気体放電表示装置の形成方法において、感光性樹脂に蛍光体粉末を混ぜた感光性蛍光体ペーストが使用され、感光性蛍光体ペーストがフォトリソグラフィ技術でパターンニングされ、蛍光体層4が形成される。印刷スクリーンメッシュで印刷用ペーストを塗布する印刷プロセスが使用されないので、蛍光体層4の抜けむらが防止できる。また、フォトリソグラフィ技術でパターンニングされた感光性樹脂フィルムでリブサポートが形成され、リブサポートに規定された領域内に感光性リブペーストを塗布し、リブ3が形成される。リブ3はリブサポートで塗布後の裾広がりを防止できる。

Claim (excerpt)：

基板上に並列に複数本の電極を形成する工程と、前記基板上の電極間に前記電極に沿って並列に複数本のリブを形成する工程と、前記電極上に蛍光体層を形成する工程とを有する気体放電表示装置の形成方法において、前記蛍光体層を形成する工程が、感光性樹脂に蛍光体粉末を混ぜた感光性蛍光体ペーストを前記電極上及びリブ上に形成する工程と、前記感光性蛍光体ペーストにフォトリソグラフィ技術でパターンニングを行ない、前記リブ上の感光性蛍光体ペーストを除去するとともに前記電極上に残存させた感光性蛍光体ペーストで蛍光体層を形成する工程と、を備えたことを特徴とする気体放電表示装置の形成方法。

IPC (3)：

H01J 9/24 , H01J 9/02 , H01J 11/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平4-109536
特開平2-165540
プラズマデイスプレイパネルの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-196330 Applicant：日本電気株式会社

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