レーザー計測方法及び装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001226161
Publication number (International publication number)：2003042713
Application date： Jul. 26, 2001
Publication date： Feb. 13, 2003
Summary：

【要約】【課題】深さ10μm以上の溝において、高精度、かつ、自動化が可能な位置合わせのための計測方法及びそれに用いられる装置を提供すること。【解決手段】試料セルに設けた深さ10μm以上の溝にレーザー光を照射し、試料セル又はレーザー光を溝幅方向に移動させて、試料セル又はレーザー光の溝幅方向の位置に関して、溝からのレーザー光の反射光又は透過光の強度分布を計測し、試料セル又はレーザー光の溝幅方向の各位置における強度分布の計測値を演算処理し、得られた演算値に基づいて試料セル又はレーザー光の位置を所望の位置に移動させることからなるレーザー計測方法。

Claim (excerpt)：

試料セルに設けた深さ10μm以上の溝にレーザー光を照射し、試料セル又はレーザー光を溝幅方向に移動させて、試料セル又はレーザー光の溝幅方向の位置に関して、溝からのレーザー光の反射光又は透過光の強度分布を計測し、試料セル又はレーザー光の溝幅方向の各位置における強度分布の計測値を演算処理し、得られた演算値に基づいて試料セル又はレーザー光の位置を所望の位置に移動させることからなるレーザー計測方法。

IPC (6)：

G01B 11/00 , G01N 21/03 , G01N 21/27 , G01N 21/41 , G01N 25/16 , G01N 37/00 101

FI (6)：

G01B 11/00 C , G01N 21/03 Z , G01N 21/27 Z , G01N 21/41 Z , G01N 25/16 C , G01N 37/00 101

F-Term (71)：

2F065AA02 , 2F065AA07 , 2F065AA20 , 2F065BB02 , 2F065BB28 , 2F065DD03 , 2F065FF23 , 2F065FF42 , 2F065GG05 , 2F065GG06 , 2F065HH04 , 2F065HH05 , 2F065HH13 , 2F065HH17 , 2F065JJ01 , 2F065JJ03 , 2F065JJ18 , 2F065JJ23 , 2F065JJ24 , 2F065JJ26 , 2F065LL04 , 2F065LL08 , 2F065LL36 , 2F065LL37 , 2F065MM03 , 2F065PP12 , 2F065QQ25 , 2F065QQ27 , 2F065TT02 , 2F065UU04 , 2F065UU07 , 2G040AA02 , 2G040AB07 , 2G040BA24 , 2G040CA12 , 2G040CA23 , 2G040EA06 , 2G040EB02 , 2G057AA01 , 2G057AA02 , 2G057AB04 , 2G057AB06 , 2G057AB07 , 2G057AC01 , 2G057BA03 , 2G057BA05 , 2G057BB01 , 2G057BB06 , 2G059AA01 , 2G059AA05 , 2G059BB04 , 2G059DD13 , 2G059EE01 , 2G059EE02 , 2G059EE05 , 2G059EE11 , 2G059GG01 , 2G059GG03 , 2G059GG04 , 2G059GG06 , 2G059HH01 , 2G059HH06 , 2G059JJ11 , 2G059JJ19 , 2G059JJ20 , 2G059JJ22 , 2G059KK01 , 2G059MM01 , 2G059MM04 , 2G059MM10 , 2G059NN01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

キャピラリー電気泳動装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-230655 Applicant：株式会社島津製作所
特開昭62-142205
特開昭62-142205

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