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J-GLOBAL ID：200903086583518794

振動ジャイロスコープのためのミクロ構造体

Inventor： マイケル・ウィリアム・プッティ ,  デーヴィッド・スタージ・エディ
Applicant, Patent owner： ゼネラル・モーターズ・コーポレーション
Agent (1)： 湯浅 恭三 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994094469
Publication number (International publication number)：1995012575
Application date： May. 06, 1994
Publication date： Jan. 17, 1995
Summary：

【要約】【目的】 改善した振動ジャイロスコープ及びそのミクロ構造体を提供する。【構成】 振動ジャイロスコープ(10)のためのミクロ構造体(50)は実質的に減衰されない高Q値半径方向振動が可能な状態で支持されたリング(14)を有する。リングは導電性で、チャージ板を有し、その周辺には複数個の放射方向に位置した電荷伝導性領域(13)が配置され、リングの半径方向変位を感知する。リング、その支持体(15)及び電荷伝導性領域は、モールド内で、単一の集積回路を備えた普通のケイ素基体(30)の表面上に形成される。

Claim (excerpt)：

振動ジャイロスコープのためのミクロ構造体において、ケイ素基体ベース(12)と;リング(14)と;実質上半径方向で減衰しない態様で上記リングを上記ベースの上方で支持するための支持手段(15、16)と;を有することを特徴とするミクロ構造体。

IPC (2)：

G01C 19/56 ,  C23C 14/14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 回転振動ジャイロスコープおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-301709   Applicant：モトローラ・インコーポレイテッド