光学装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：伊東哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995127458
Publication number (International publication number)：1996306618
Application date： Apr. 28, 1995
Publication date： Nov. 22, 1996
Summary：

【要約】【目的】光学薄体を湾曲させ、線形的な倍率変化を発生させる具体的な手段を有する光学装置を提供する。【構成】結像光学系12を備え、その結像位置のずれ以外の結像性能に対し実質的に影響を与えない程度の光学的厚さで、かつ湾曲した形状の光学薄体13を結像光学系の光路中に配する。

Claim (excerpt)：

結像光学系を備え、その結像位置のずれ以外の結像性能に対し実質的に影響を与えない程度の光学的厚さで、かつ湾曲した形状の光学薄体を前記結像光学系の光路中に配することを特徴とする光学装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 , G02B 27/18 , G03F 7/20 521

FI (5)：

H01L 21/30 517 , G02B 27/18 Z , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 515 D , H01L 21/30 518

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開昭59-144127
特開昭61-278141
特開昭61-168919

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