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J-GLOBAL ID：200903086855507266
共焦点顕微鏡による検査方法およびそのシステム構成
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
松田 省躬
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999164542
Publication number (International publication number)：2000035400
Application date： Jun. 11, 1999
Publication date： Feb. 02, 2000
Summary：
【要約】【課題】レーザ光を顕微鏡光路に送り込み、試料の様々な位置に時間的間隔を置いて順次照準、照射し、被照射位置からの反射光および/または放射光から走査面の画像を形成していく共焦点顕微鏡による検査方法【解決手段】レーザ光のポイント間の偏向の間に光のスペクトル組成および/または強度を変更し、その一方では偏向を間断なく続けることによって、試料内で隣接している少なくとも二つの位置がスペクトル特性の異なる光で、および/または強度の異なるレーザ光線で画像面の選択部分だけにレーザ光線を照射される
Claim (excerpt)：
偏向を繰り返す一方で、顕微鏡光路に送り込まれるレーザ光のスペクトル組成および/または強度を変えることによって、試料内の隣接する少なくとも二つの位置が、スペクトル特性および/または強度の異なる光によって照射されることを特徴とする共焦点顕微鏡において、スペクトル域の異なるレーザ光を、少なくとも二つの座標で偏向する顕微鏡光路に送り込み、試料の観察位置に時間的間隔をおいて順次照準、照射する場合に、試料の少なくとも一つの面においてポイント、ポイントの切替毎におよび走査線毎にレーザ光を照射し、その被照射位置から出る反射光および/または放射光から走査面の画像を形成することを特徴とする共焦点顕微鏡による検査方法
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 21/27 E
, G02B 21/00
Cited by examiner (6)
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Article cited by the Patent：
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