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J-GLOBAL ID：200903086960998178

アイソレータ装置のグローブ機構

Inventor： 川崎 康司 ,  宮本 実 ,  江城 弘至 ,  戸田 俊永 ,  神農 満雄 ,  角田 大輔 ,  石山 信夫 ,  東口 慎一 ,  成田 光志
Applicant, Patent owner： 株式会社エアレックス
Agent (1)： 松浦 喜多男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999161321
Publication number (International publication number)：2000343479
Application date： Jun. 08, 1999
Publication date： Dec. 12, 2000
Summary：

【要約】【課題】 シールド性が高いアイソレータ装置のグローブ機構を提供する。【解決手段】 アイソレータ装置1に取り付ける作業グローブ30を外側被覆片31と内側被覆片32とからなる二層構造として、両被覆片31,32の隙間40の圧力をアイソレータ装置1内部に比して陰圧となるように制御した。このため、グローブの固着部から汚染空気が装置内へ漏出することがなく、アイソレータ装置内を無菌・無塵状態に保つことができる。

Claim (excerpt)：

アイソレータ装置に取り付ける作業グローブを外側被覆片と内側被覆片とからなる二層構造として両被覆片の基端を、装置筐体に形成した作業孔の内周縁に気密的に固着するとともに、両被覆片の隙間に圧力制御管路を接続して、該隙間内を、圧力制御管路により減圧し、該隙間の圧力をアイソレータ装置内部に比して陰圧となるように制御したことを特徴とするアイソレータ装置のグローブ機構。

IPC (2)：

B25J 21/02 ,  H01L 21/02

FI (2)：

B25J 21/02 ,  H01L 21/02 D

F-Term (2)：

3F060HA00 ,  3F060HA29

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 操作の実行方法及びその装置
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願平6-519492   Applicant：クレフテンス・ベケンペルセ