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J-GLOBAL ID：200903087013504044

感光性ペースト

Inventor： 井口 雄一朗 ,  正木 孝樹 ,  岩永 慶二
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996164656
Publication number (International publication number)：1998007432
Application date： Jun. 25, 1996
Publication date： Jan. 13, 1998
Summary：

【要約】【課題】高アスペクト比かつ高精度のパターン加工を可能にする感光性ペーストを提供する。【解決手段】無機微粒子と感光性化合物を含む有機成分を必須成分とする感光性ペーストであって、全光線透過率が50〜90%である感光性ペーストであって、好ましくは正規透過率が10〜90%であることを特徴とする感光性ペーストによって解決できる。

Claim (excerpt)：

無機微粒子と感光性化合物を含む有機成分を必須成分とする感光性ペーストであって、厚さ40μmあたりの全光線透過率が50%以上であることを特徴とする感光性ペースト。

IPC (4)：

C03C 8/14 ,  G03F 7/004 501 ,  H01J 11/02 ,  H01J 17/16

FI (4)：

C03C 8/14 ,  G03F 7/004 501 ,  H01J 11/02 B ,  H01J 17/16

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 感光性絶縁ガラスペースト
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-187208   Applicant：東レ株式会社