ポジ型レジスト材料

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：滝田清暉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992300372
Publication number (International publication number)：1994123970
Application date： Oct. 12, 1992
Publication date： May. 06, 1994
Summary：

【要約】【目的】従来にない高感度、高解像性及び優れたプロセス適性を有する高エネルギー線用ポジ型レジスト材料を提供すること。【構成】一部の水酸基の水素原子がt-ブトキシカルボニル基で置換されたポリ(ヒドロキシスチレン)樹脂a、溶解阻害剤b及びオニウム塩cを、夫々重量分率で0.55≦a、0.07≦b≦0.40、0.005≦c≦0.15並びにa+b+c=1となるように含有すると共に、アルカリ水溶液で現像することが可能な、高エネルギー線に感応するポジ型レジスト材料であって、前記溶解阻害剤bがコール酸又はデオキシコール酸のt-ブチルエステル化合物であると共に、前記オニウム塩cが一般式(R)n AMで表されるオニウム塩であることを特徴とするポジ型レジスト材料;但し、一般式中、Rは芳香族基又は置換芳香族基であり、各Rは同じであっても異なっても良い。また、Aはスルホニウム又はヨードニウムであり、Mはp-トルエンスルホネート基又はトリフルオロメタンスルホネート基である。

Claim (excerpt)：

一部の水酸基の水素原子がt-ブトキシカルボニル基で置換されたポリ(ヒドロキシスチレン)樹脂a、溶解阻害剤b及びオニウム塩cを、夫々重量分率で0.55≦a、0.07≦b≦0.40、0.005≦c≦0.15並びにa+b+c=1となるように含有すると共に、アルカリ水溶液で現像することが可能な、高エネルギー線に感応するポジ型レジスト材料であって、前記溶解阻害剤bがコール酸又はデオキシコール酸のt-ブチルエステル化合物であると共に、前記オニウム塩cが一般式(R)n AMで表されるオニウム塩であることを特徴とするポジ型レジスト材料;但し、一般式中、Rは芳香族基又は置換芳香族基であり、各Rは同じであっても異なっても良い。また、Aはスルホニウム又はヨードニウムであり、Mはp-トルエンスルホネート基又はトリフルオロメタンスルホネート基である。

IPC (6)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/023 511 , G03F 7/029 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

特開平4-215662
特開平4-212159
特開平2-181151

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