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J-GLOBAL ID：200903087075393460

有機ELディスプレイの製造方法

Inventor： 宮口 敏
Applicant, Patent owner： パイオニア株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996130790
Publication number (International publication number)：1997293589
Application date： Apr. 26, 1996
Publication date： Nov. 11, 1997
Summary：

【要約】【課題】 有機ELディスプレイを製造する場合に、多種多様なパターン形状を有する発光層を精度良く形成する方法を提供するものである。【解決手段】 陰極と、一又は複数の有機物質からなる発光層と、陽極と、透光性基板とを有する有機EL素子を一又は複数配列する有機ELディスプレイの製造方法であって、透光性基板上に、陽極材料、一又は複数の有機物質、陰極材料、保護膜、をそれぞれ順次成膜して積層する工程と、積層された保護膜上にレジストを成膜して、発光層に対応する形状をパターニングする工程と、積層された陽極材料、一又は複数の有機物質、陰極材料、保護膜を、レジストが有するパターン形状に対応してドライエッチング加工形成する工程と、を有し、以上の工程を1又は複数回繰り返すことにより、有機EL素子を一又は複数配列することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

陰極と、一又は複数の有機物質からなる発光層と、陽極と、透光性基板とを有する有機EL素子を一又は複数配列する有機ELディスプレイの製造方法であって、前記透光性基板上に、陽極材料、前記一又は複数の有機物質、陰極材料、保護膜、をそれぞれ順次成膜して積層する工程と、積層された前記保護膜上にレジストを成膜して、前記発光層に対応する形状をパターニングする工程と、積層された前記陽極材料、前記一又は複数の有機物質、前記陰極材料、前記保護膜を、前記レジストが有するパターン形状に対応してドライエッチング加工形成する工程と、を有し、以上の工程を1又は複数回繰り返すことにより、前記有機EL素子を一又は複数配列する有機ELディスプレイの製造方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 多色オーガニック発光素子
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願平8-519830   Applicant：ザトラスティーズオブプリンストンユニバーシティ