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J-GLOBAL ID：200903087184231771

大面積マグネトロンスパッタ装置

Inventor： 清野 知之 ,  亀井 光浩 ,  梅原 諭
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 秋本 正実
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995187275
Publication number (International publication number)：1997031646
Application date： Jul. 24, 1995
Publication date： Feb. 04, 1997
Summary：

【要約】【目的】 厚肉にしなくとも、バッキングプレートの強度を充分維持すること。【構成】 バッキングプレート15上を移動する各磁石11,11が、上述の如く、その移動方向と直交する方向に沿って二分割に形成され、バッキングプレート15に二分割形成された各磁石11,11の間に配置される補強リブ15aが突設されているので、補強リブ15aにより、バッキングプレート15の剛性を高めることができるので、バッキングプレート15自体の厚みを薄く形成することができ、そのため、バッキングプレート15を薄型化かつ軽量化してもその剛性を保つことができる。

Claim (excerpt)：

内部に配置された基板を有する真空容器と、金属粒子を飛散させて基板表面に成膜するターゲットと、該ターゲットを取付けたバッキングプレートと、該ターゲットの表面上に所望のマグネトロン磁場を形成する磁石部と、磁石部を基板及びターゲットに沿って移動させる駆動機構とを有するマグネトロンスパッタ装置において、バッキングプレートが磁石部の移動を許容すると共に、バッキングプレート自体の強度を保つ形状に形成したことを特徴とする大面積マグネトロンスパッタ装置。

IPC (3)：

C23C 14/35 ,  C23C 14/34 ,  C23C 14/56

FI (4)：

C23C 14/35 B ,  C23C 14/35 Z ,  C23C 14/34 C ,  C23C 14/56 H

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-305961
  
• 特開平4-314857
  
• スパッタターゲットのバッキングプレート
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-321625   Applicant：日新電機株式会社