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J-GLOBAL ID:200903087484360670
磁気記録媒体の製造方法、製造装置、インプリントスタンパ及びその製造方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
日向寺 雅彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003346898
Publication number (International publication number):2005116022
Application date: Oct. 06, 2003
Publication date: Apr. 28, 2005
Summary:
【課題】 磁性層がパターン化された磁気記録媒体の作成において、ナノインプリント法を用いるプロセスのスループットを上げることを目的とする。【解決手段】 磁気記録媒体に対応する凹凸パターンを基板の表面に転写するインプリント工程を含む磁気記録媒体の製造方法であって、第1のインプリント領域に属する凹凸パターンを基板に転写する工程と、前記第1のインプリント領域を取り囲む第2のインプリント領域に属し、ほぼ同心円状に配置された複数の凹凸パターンを基板に転写する工程と、を備えたことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法を提供する。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
磁気記録媒体に対応する凹凸パターンを基板の表面に転写するインプリント工程を含む磁気記録媒体の製造方法であって、
第1のインプリント領域に属する凹凸パターンを基板に転写する工程と、
前記第1のインプリント領域を取り囲む第2のインプリント領域に属し、ほぼ同心円状に配置された複数の凹凸パターンを基板に転写する工程と、
を備えたことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
IPC (1):
FI (1):
F-Term (3):
5D112AA01
, 5D112AA17
, 5D112AA24
Patent cited by the Patent:
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