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J-GLOBAL ID:200903087494727319

デバイス検査装置及びデバイス検査方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992259371
Publication number (International publication number):1994109810
Application date: Sep. 29, 1992
Publication date: Apr. 22, 1994
Summary:
【要約】【目的】 クロックに同期し時分割された任意のレベルの基準信号と被検査デバイスの出力信号を差動比較し、差の信号として、N値比較器でクロックに同期したダイナミック状態で、リアルタイムに規格範囲内にあるかどうかを相対精度で判定する。【構成】 被検査デバイス1と、任意波形発生器5と、N値比較器3は、クロック発生器6を介して同期駆動され、任意波形発生器5から被検査デバイス1に基準信号を印加し、被検査デバイス1の出力値と任意波形発生器5の基準信号を差動比較し差信号を、N値比較器3に印加し、特定の規格範囲にあるかを判定する。
Claim (excerpt):
クロックに同期し時分割された基準信号を被検査デバイスに印加する任意波形発生器と、前記被検査デバイスの出力および前記基準信号を入力とする差動比較器と、前記差動比較器の出力が入力され前記クロックに同期して判定を行うN値比較器(N≧3の整数)とを有するデバイス検査装置。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)

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