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J-GLOBAL ID：200903087505068304

顕微鏡画像における深度選択の方法および装置

Inventor： ギュンター シェッペ (原語表記)Guenter Schoeppe
Applicant, Patent owner： カール ツァイス イエナ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
Agent (1)： 松田 省躬
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000200394
Publication number (International publication number)：2001099618
Application date： Jul. 03, 2000
Publication date： Apr. 13, 2001
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 顕微鏡画像における深度選択の方法。【解決手段】周期的に変化する明度曲線を有し、且つnを2より大きい整数として格子定数の1/nだけ変位する投射構造によって、表面情報を検出する方法において、投射画像は、CCDカメラによって検出され、各画像点に対して、その都度の格子位相を乗じた明視野輝度を表示する情報が検出され、これらの画像から正弦成分および余弦成分が抽出され、式I. Ixy=Iobxy*m*sin xII. Ixy=Iobxy*m*cos x が構成され、m = Iobxy*√(sin2x+cos2 x)/Iobxyによって、変調度mを計算する。

Claim (excerpt)：

周期的に変化する明度曲線を有し、且つnを2より大きい整数として格子定数の1/nだけ変位する投射構造によって、表面情報を検出する方法において、投射画像は、CCDカメラによって検出され、各画像点に対して、その都度の格子位相を乗じた明視野輝度を表示する情報が検出され、これらの画像から正弦成分および余弦成分が抽出され、それらから I. Ixy=Iobxy*m*sin x II. Ixy=Iobxy*m*cos x が構成され、そして、I式およびII式から変調度mが計算され、 m = Iobxy*√(sin2x+cos2 x)/Iobxy表示用に使用されることを特徴とする方法。

IPC (3)：

G01B 11/00 ,  G02B 21/00 ,  G02B 21/36

FI (3)：

G01B 11/00 Z ,  G02B 21/00 ,  G02B 21/36

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 表面形状3次元計測装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-008439   Applicant：松下電工株式会社