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J-GLOBAL ID:200903087552653398

被検査面の欠陥検査方法およびその装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 八田 幹雄
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995025090
Publication number (International publication number):1996145906
Application date: Feb. 14, 1995
Publication date: Jun. 07, 1996
Summary:
【要約】【目的】 被検査面に存在する欠陥を確実に検出する。【構成】 被検査面1を、その撮像部位Aが時間の経過と共に移動するように移動させ、任意の時刻ごとに撮像手段2からの画像を入力し、この入力した互いに撮像時刻の異なる複数枚の当該画像のそれぞれから欠陥候補点Bを抽出し、時系列に撮像された当該複数枚の画像のそれぞれに存在する欠陥候補点Bが前記撮像部位の移動量に比例して移動しているか否かを前記複数枚の画像の内の少なくとも任意の2枚以上の画像から抽出された欠陥候補点Bの位置から判断し、前記複数枚の画像の内の少なくとも任意の2枚以上の画像から抽出された当該欠陥候補点Bの移動量が前記撮像部位Aの移動量に比例して移動していると判断された場合に、当該欠陥候補点Bは前記被検査面1上に存在する欠陥であると決定する。
Claim (excerpt):
被検査面(1) あるいは撮像手段(5) の少なくともいずれか一方を、当該被検査面(1) の撮像部位(A) が時間の経過と共に移動するように移動させ、任意の時刻ごとに当該撮像手段(5) からの画像を入力し、この入力した互いに撮像時刻の異なる複数枚の当該画像のそれぞれから欠陥候補点を抽出し、時系列に撮像された当該複数枚の画像のそれぞれに存在する欠陥候補点が前記撮像部位(A) の移動量に比例して移動しているか否かを前記複数枚の画像の内の少なくとも任意の2枚以上の画像から抽出された欠陥候補点の位置から判断し、前記複数枚の画像の内の少なくとも任意の2枚以上の画像から抽出された当該欠陥候補点の移動量が前記撮像部位(A) の移動量に比例して移動していると判断された場合に、当該欠陥候補点は前記被検査面(1) 上に存在する欠陥であると決定することを特徴とする被検査面の欠陥検査方法。
IPC (4):
G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G06T 7/00 ,  G06T 1/00
FI (2):
G06F 15/62 400 ,  G06F 15/64 J
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
  • 特開昭60-179639
  • 鋼板の疵検出方法
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平6-224851   Applicant:新日本製鐵株式会社
  • 特開平2-073139
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