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J-GLOBAL ID：200903087638822478

ポジ型感光性樹脂組成物、パターンの製造方法及び電子部品

Inventor：
峯岸 知典

About 峯岸 知典

, 
鍛治 誠

About 鍛治 誠

, 
城野 理佳子

About 城野 理佳子


Applicant, Patent owner：
日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社

About 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社


Agent (1)： 酒井 宏明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003065218
Publication number (International publication number)：2004272083
Application date： Mar. 11, 2003
Publication date： Sep. 30, 2004
Summary：
【課題】良好なi線透過性と硬化後の低い誘電率を備え、さらに高耐熱性に優れるポジ型感光性樹脂組成物を提供する。また本発明は、前記組成物の使用により、感度、解像度および耐熱性に優れ、低誘電率を備える良好な形状のパターンを提供する。また、良好な形状と特性のパターンを有することにより、信頼性の高い電子部品を提供する。【解決手段】(A)分子中にフルオレン構造を有するポリイミド前駆体又はポリオキサゾール前駆体から選ばれる前駆体ポリマー、及び(B)感光剤を含有してなるポジ型感光性樹脂組成物。また、前記(A)成分が下記一般式(1)で表される繰り返し単位を有するポリベンゾオキサゾール前駆体、又は下記一般式(2)で表される繰り返し単位を有するポリイミド前駆体であることを特徴とする感光性樹脂組成物。【選択図】 なし
Claim (excerpt)：
(A)分子中にフルオレン構造を有するポリイミド前駆体又はポリオキサゾール前駆体から選ばれる前駆体ポリマー、及び(B)感光剤を含有してなるポジ型感光性樹脂組成物。
IPC (4)：
G03F7/039 ,  C08G73/10 ,  C08G73/22 ,  H01L21/027
FI (4)：
G03F7/039 ,  C08G73/10 ,  C08G73/22 ,  H01L21/30 502R
F-Term (37)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA10 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE01 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J043PA02 ,  4J043PA19 ,  4J043QB23 ,  4J043QB26 ,  4J043QB31 ,  4J043QB33 ,  4J043QB34 ,  4J043QB45 ,  4J043RA35 ,  4J043RA52 ,  4J043SA06 ,  4J043SA71 ,  4J043TA12 ,  4J043TA71 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA221 ,  4J043UA222 ,  4J043VA061 ,  4J043VA062 ,  4J043YA06 ,  4J043ZA46 ,  4J043ZB02 ,  4J043ZB50
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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