力学量検出装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大庭咲夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000387396
Publication number (International publication number)：2002188923
Application date： Dec. 20, 2000
Publication date： Jul. 05, 2002
Summary：

【要約】【課題】振動子を第1方向に振動させておいて、第1方向に直角な第2方向の振動子の振動を検出して角速度を検出する力学量検出装置において、振動子を第1方向の大きくかつ安定して振動させて角速度を検出精度を向上させる。【解決手段】振動子20-1,20-1は、検出用梁31a〜31dを介してメインフレーム30-1〜30-4にY軸方向に変位可能に支持されている。メインフレーム30-1〜30-4は、駆動用梁33a〜33d,34a〜34dを介して基板10にX軸方向に変位可能に支持されている。メインフレーム30-1,30-3はリンク梁41a,41c及びリンク42aにより連結されているとともに、メインフレーム30-2,30-4はリンク梁41c,41d及びリンク42bにより連結されている。リンク42a,42bは、サブリンク梁43a〜43d及びサブリンク44a,44bにより連結されている。

Claim (excerpt)：

基板上にて互いに対向して配置されるとともに前記基板に対して前記基板表面と平行な第1方向に変位可能に支持された第1及び第2フレームと、前記基板上にて前記第1及び第2フレームの間に配置されて前記第1及び第2フレームに対して前記基板表面と平行かつ前記第1方向に直角な第2方向に変位可能に支持された第1振動子と、前記基板上にて前記第1方向における前記第1及び第2フレームの側方位置に互いに対向して配置されるとともに前記基板に対して前記第1方向に変位可能に支持された第3及び第4フレームと、前記基板上にて前記第3及び第4フレームの間に配置されて前記第3及び第4フレームに対して前記第2方向に変位可能に支持された第2振動子と、前記第1フレームと前記第3フレームとを前記第1方向に変位し易くかつ前記第2方向に変位し難く連結する第1連結手段と、前記第2フレームと前記第4フレームとを前記第1方向に変位し易くかつ前記第2方向に変位し難く連結する第2連結手段とを備え、第1乃至第4フレームを前記第1方向に振動させるとともに、前記第1及び第2振動子の前記第2方向の振動を検出するようにしたことを特徴とする力学量検出装置。

IPC (3)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 29/84

FI (3)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 29/84 Z

F-Term (17)：

2F105BB03 , 2F105BB04 , 2F105CC04 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD13 , 4M112AA02 , 4M112BA07 , 4M112CA02 , 4M112CA06 , 4M112CA13 , 4M112CA14 , 4M112DA02 , 4M112DA12 , 4M112EA03 , 4M112FA20 , 4M112GA03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

共振型角速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-334337 Applicant：株式会社豊田中央研究所

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