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J-GLOBAL ID：200903088068594502

薄膜の機械的特性測定装置

Inventor： 木村 正人
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993123999
Publication number (International publication number)：1994331534
Application date： May. 26, 1993
Publication date： Dec. 02, 1994
Summary：

【要約】【目的】 薄膜の密着力・付着力を測定する場合に、AE信号のノイズとなる周囲の装置の電磁波による影響を除去する。【構成】 測定装置の中の測定部全体1〜8を導電性のある磁性体、たとえば鉄やフェライトのカバー7で覆うことにより、薄膜の破壊に伴うAE信号を検出する圧子4に、周囲のパーソナルコンピュータ10やCRTディスプレイ11の電磁波や隣接装置の電磁波がノイズとして影響することを防ぐことができる。

Claim (excerpt)：

基板上に薄膜が形成されている試験片を用い、前記試験片の下部に位置し前記試験片を傾斜させる傾斜機構を備えた荷重変換器と、前記試験片の上方に位置し前記試験片に押し込み変形を与えると同時に前記試験片内部に発生するクラックの伝播状態を検知する検知器とを兼ねた圧子と、前記圧子を垂直方向に駆動する駆動器と、前記圧子の押し込み量を測定する変位計と、前記試験片、前記傾斜機構、前記荷重変換器、前記圧子、前記駆動器及び前記変位計の全てを覆う導電性の有る磁性体でできたカバーとを有することを特徴とする薄膜の機械的特性測定装置。

IPC (3)：

G01N 19/04 ,  G01N 3/40 ,  G01N 29/14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭64-031036
  
• 走査プローブ型顕微鏡装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-069401   Applicant：株式会社ニコン
• 特開平1-133030