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J-GLOBAL ID：200903088132827214

酸化亜鉛単結晶の製造方法

Inventor：
佐藤 秀人

About 佐藤 秀人


Applicant, Patent owner：
株式会社村田製作所

About 株式会社村田製作所


Agent (1)： 西澤 均
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006147277
Publication number (International publication number)：2007314386
Application date： May. 26, 2006
Publication date： Dec. 06, 2007
Summary：
【課題】陰イオンをOサイトへ添加することが可能で、電気特性や光学特性等の改善を図ることが可能な酸化亜鉛単結晶の製造方法を提供する。【解決手段】液相エピタキシャル法を用いた酸化亜鉛単結晶の製造方法において、亜鉛を含む原料溶液2として、リン酸塩を含む原料溶液2を用い、液相で酸化亜鉛単結晶をエピタキシャル成長させる。また、リン酸塩として、亜鉛のリン酸塩および/または亜鉛以外の物質のリン酸塩を用いる。また、リン酸塩として、Zn3(PO4)2を用いる。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
液相エピタキシャル法を用いた酸化亜鉛単結晶の製造方法において、 亜鉛を含む原料溶液として、リン酸塩を含む原料溶液を用い、液相で酸化亜鉛単結晶をエピタキシャル成長させること を特徴とする酸化亜鉛単結晶の製造方法。
IPC (4)：
C30B 29/16 ,  C30B 19/04 ,  H01L 21/368 ,  H01L 33/00
FI (4)：
C30B29/16 ,  C30B19/04 ,  H01L21/368 Z ,  H01L33/00 D
F-Term (20)：
4G077AA02 ,  4G077BB07 ,  4G077CG02 ,  4G077CG07 ,  4G077HA02 ,  4G077HA05 ,  4G077HA11 ,  4G077QA04 ,  4G077QA12 ,  5F041CA41 ,  5F041CA63 ,  5F053AA03 ,  5F053DD20 ,  5F053FF01 ,  5F053GG01 ,  5F053HH01 ,  5F053KK10 ,  5F053LL01 ,  5F053LL04 ,  5F053RR20
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)

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