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J-GLOBAL ID：200903088205211799

レーザー超音波法による塑性歪み比を測定する方法及び装置

Inventor：
永田 泰昭

About 永田 泰昭


Applicant, Patent owner：
新日本製鐵株式会社

About 新日本製鐵株式会社


Agent (1)： 半田 昌男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998084190
Publication number (International publication number)：1999281632
Application date： Mar. 30, 1998
Publication date： Oct. 15, 1999
Summary：
【要約】【課題】 装置と被検体とを接近させる必要がなく、かつ、それら距離を一定に保たなくても高い精度で被検体のr値を求めることができるレーザー超音波法による塑性歪み比を測定する方法及び装置を提供する。【解決手段】 超音波観測用レーザー11から放射されたレーザービーム(光周波数はf)は二つの偏光ビームスプリッタ(PBS)16,17によって三つのレーザービームに分けられ、それぞれのレーザービームは対応する音響光学素子18,19,20によりf0 ,f1 ,f2 の光周波数にシフトされる。f0 のレーザービームは被検体1の表面に垂直に入射させ、f1 のレーザービームはx-z平面内でx軸からθ1 の角度で入射させ、f2 のレーザービームはy-z平面内でy軸からθ2 の角度で入射させる。各レーザービームを照射する位置は、超音波発生用のレーザービームを照射する点Oと同じである。
Claim (excerpt)：
ファブリ・ペロー干渉計を用いて、少なくとも第一、第二、第三の光周波数において、透過光強度を光周波数で微分した値の絶対値が局所的に最大となる特性を持たせたファブリ・ペロー干渉手段と、被検体に超音波を発生させるためのレーザービームを発する第一のレーザー光源と、それぞれの光周波数が前記第一、第二、第三の光周波数又はその近傍である、前記被検体を伝播した超音波を観測するための第一、第二、第三のレーザービームを発する第二のレーザー光源と、前記第一のレーザービームを被検体表面(これをx-y平面とする)の法線(これをz軸とする)と平行に、前記第二のレーザービームをz-x平面内でz軸からθ1 の入射角で、また前記第三のレーザービームをz-y平面内でz軸からθ2 の入射角で、それぞれ前記被検体表面の同一の位置に入射させる第一の光学手段と、前記第一、第二、第三のレーザービームの前記被検体からの反射光を前記ファブリ・ペロー干渉手段に入射させる第二の光学手段と、前記被検体内を伝播した超音波が前記第一、第二、第三のレーザービームの前記反射光の光周波数をシフトさせたことによる前記ファブリ・ペロー干手段の出射光強度の変化を検出し、その旨の信号を出力する光検出手段と、前記第一のレーザー光源が発するレーザー光を前記被検体に照射してから前記光検出手段によって所定の超音波が観測されるまでの伝播時間を求めるとともに、前記伝播時間から各超音波の音速を算出し、その値を用いて所定の計算式に基づいて前記被検体の塑性歪み比を算出する演算手段と、を具備することを特徴とするレーザー超音波法による塑性歪み比測定装置。
IPC (2)：
G01N 29/18 ,  G01N 29/00 501
FI (2)：
G01N 29/18 ,  G01N 29/00 501
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (6)
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