荷電粒子線装置および試料作製装置

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：作田康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000340387
Publication number (International publication number)：2002141382
Application date： Nov. 02, 2000
Publication date： May. 17, 2002
Summary：

【要約】【課題】大口径ウェハ用の探針移動機構ならびにサイドエントリ型試料ステージを試料作製装置、不良検査装置に適用することで、小型で従来と同等の操作性を有する試料作製装置、評価装置を提供する。【解決手段】探針ならびにサイドエントリ型試料ステージを、上記イオンビーム照射光学軸とウェハ面の交点を通る傾斜角を持って真空容器を大気開放することなく真空容器に出し入れ可能とする真空導入手段を配した探針移動機構およびサイドエントリ型試料ステージ微動機構用い、さらにサイドエントリ型試料ステージの試料ホルダの試料片設置部分をウェハ面と平行とする回転自由度を有したサイドエントリ型試料ステージを用いる。【効果】真空容器の容積が必要最小限の設置面積の小さい小型で使い勝手の優れた、大口径ウェハ用の試料作製装置、評価装置が実現できる。

Claim (excerpt)：

真空容器内に試料を載置する試料ステージと、荷電粒子源と、前記荷電粒子源からの荷電粒子ビームを試料に照射するための照射光学系と、試料に荷電粒子ビームの照射によって発生する二次粒子を検出する二次粒子検出器と、先端を試料に接触可能な針状部材と、上記針状部材を保持する探針ホルダと、前記真空容器の外から前記探針ホルダを出し入れ可能とする導入機構と、上記探針ホルダを前記試料ステージの表面に対し傾斜させる機構を有する移動機構と、を具備したことを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (7)：

H01L 21/66 , G01N 1/28 , G01N 1/32 , G01N 23/225 , H01J 37/20 , H01J 37/30 , H01J 37/317

FI (10)：

H01L 21/66 C , H01L 21/66 J , H01L 21/66 N , G01N 1/32 B , G01N 23/225 , H01J 37/20 Z , H01J 37/30 Z , H01J 37/317 D , G01N 1/28 G , G01N 1/28 W

F-Term (30)：

2G001AA03 , 2G001AA05 , 2G001BA06 , 2G001BA07 , 2G001BA09 , 2G001BA11 , 2G001CA03 , 2G001CA05 , 2G001GA01 , 2G001GA06 , 2G001GA13 , 2G001JA08 , 2G001JA11 , 2G001JA14 , 2G001KA03 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G001PA12 , 2G001RA04 , 4M106DB05 , 4M106DD04 , 4M106DH24 , 4M106DH33 , 4M106DJ03 , 4M106DJ32 , 5C001AA01 , 5C001CC03 , 5C034AA02 , 5C034AB04 , 5C034DD03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

試料作製装置および試料作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-057718 Applicant：株式会社日立製作所

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