水冷式半導体素子スタックの冷却体およびその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：山口巖
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996258238
Publication number (International publication number)：1998107194
Application date： Sep. 30, 1996
Publication date： Apr. 24, 1998
Summary：

【要約】【課題】伝熱性,冷却効率,機械的強度,冷却水によるエロージョン腐食防止対策などの面で優れた水冷式半導体素子スタックの冷却体を提供する。【解決手段】水冷式半導体素子スタックに組み込む冷却体4を、スタックの電極板との当接面を受熱面とした窒化アルミニウム・セラミックス製の平型容器としなし、その内部にはリブ状フィン4gの間を縫って冷却水入口4dと出口4eの間に連なる蛇行状の冷却水流通路4fを画成する。また、電極板との間の接触熱抵抗を低減するために受熱面には低硬度なメタライズ層を形成し、さらに冷却水による冷却体のエロージョン防止策として、内部表面に高硬度なアルミナの酸化皮膜を形成する。そして、この冷却体を製作するには、窒化アルミニウムに焼結助剤,バインダを加えて混合した粉体を原料として、受熱面と平行に二分割した平型容器の半片を金型を用いて成形した後、その2枚の半片を突き合わせ接着した上で焼成して焼結し、さらに受熱面を平滑に研磨加工する。

Claim (excerpt)：

複数個の電力用平型半導体素子と、各半導体素子の両側に配した電極板と、各電極板の間に介挿してその内部に冷却水を通流する冷却体との積層組立体としてなる水冷式半導体素子スタックにおいて、前記冷却体が、電極板と当接し合う両端面を受熱面とする窒化アルミニウムのセラミックスで作られた平型容器で、かつその内部には受熱面に沿って冷却水入口と出口の間に連なる蛇行状の冷却水流通路を画成したものであり、その蛇行状の冷却水流通路を容器の受熱壁面の間にまたがって容器壁と一体成形したリブ状フィン部の間を縫って形成したことを特徴とする水冷式半導体素子スタックの冷却体。

IPC (2)：

H01L 23/473 , H01L 23/40

FI (2)：

H01L 23/46 Z , H01L 23/40 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開平4-305963
特開昭62-123071
半導体用セラミックス放熱体およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-212316 Applicant：住友電気工業株式会社

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