ネガ型感光性樹脂組成物及びこれを用いた表示デバイス

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鐘尾宏紀 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001078065
Publication number (International publication number)：2002278067
Application date： Mar. 19, 2001
Publication date： Sep. 27, 2002
Summary：

【要約】【目的】本発明は耐熱性、感度、解像性、パターン形状が優れ、エッチングレジストやイオン注入レジスト、スペーサーなどのLCDパネル構造材料および有機ELディスプレーなどの電極隔壁材料に好適に用いることのできるプロセスマージンの広いネガ型感光性樹脂組成物を提供する。【構成】アルカリ可溶性ノボラック樹脂、架橋剤および光酸発生剤を含有してなる感光性樹脂組成物において、アルカリ可溶性ノボラック樹脂として、分別処理され、ポリスチレン換算重量平均分子量が1,000〜10,000で、かつ分子量500以下の比率が全体の5%以下とされたものを用いる。

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性ノボラック樹脂、架橋剤および光酸発生剤を含有してなる感光性樹脂組成物において、前記アルカリ可溶性ノボラック樹脂が、分別処理され、ポリスチレン換算重量平均分子量が1,000〜10,000で、かつ分子量500以下の重量比率が全体の5%以下であることを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。

IPC (6)：

G03F 7/038 601 , C08K 5/00 , C08L 61/06 , G02F 1/1339 500 , H01L 21/027 , C08L101:00

FI (6)：

G03F 7/038 601 , C08K 5/00 , C08L 61/06 , G02F 1/1339 500 , C08L101:00 , H01L 21/30 502 R

F-Term (41)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA04 , 2H025AA10 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BE00 , 2H025CB29 , 2H025CB52 , 2H025CB55 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H089LA06 , 2H089MA04X , 2H089MA05X , 2H089QA12 , 4J002CC031 , 4J002CC222 , 4J002CC232 , 4J002CD002 , 4J002CD032 , 4J002CD052 , 4J002CD062 , 4J002CD132 , 4J002CD142 , 4J002EN137 , 4J002EQ017 , 4J002ER006 , 4J002ET016 , 4J002EU186 , 4J002EV207 , 4J002EV247 , 4J002EV297 , 4J002FD142 , 4J002FD146 , 4J002FD207 , 4J002GP03 , 4J002GQ00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

化学増幅ネガ型レジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-154947 Applicant：住友化学工業株式会社

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