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J-GLOBAL ID：200903088936695175

研磨用回転砥石

Inventor： 峠 直樹 ,  古賀 雅代
Applicant, Patent owner： ノリタケダイヤ株式会社 ,  株式会社ノリタケカンパニーリミテド
Agent (1)： 加藤 久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998040753
Publication number (International publication number)：1999239979
Application date： Feb. 23, 1998
Publication date： Sep. 07, 1999
Summary：

【要約】【解決手段】 周方向に連続した溝を砥材層部に形成した研磨用回転砥石において、中央部から外周に向かって溝をらせん状に形成する、複数の円周方向の溝を偏心させて形成する、直線を含む環状の複数の溝として形成するなどして、周方向に連続した溝を同心円からずらして形成する。【効果】 従来の回転砥石のように砥石の軌跡をずらしながら繰り返し往復運動をさせる必要がないので、加工に要する時間を大幅に短縮することができ、作業能率が向上する。

Claim (excerpt)：

周方向に連続した溝を砥材層部に形成した研磨用回転砥石において、前記周方向に連続した溝を同心円からずらして形成したことを特徴とする研磨用回転砥石。

IPC (3)：

B24D 7/00 ,  B24D 9/08 ,  B24D 11/00

FI (3)：

B24D 7/00 P ,  B24D 9/08 C ,  B24D 11/00 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭61-297082
  
• 改善されたスラリー分配を備えた化学機械研磨装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-043233   Applicant：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
• 特開昭61-297082