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J-GLOBAL ID：200903089116439502

窒化アルミニウム焼結体、金属埋設品、電子機能材料および静電チャック

Inventor： 勝田 祐司 ,  森 行正 ,  別所 裕樹 ,  高橋 道夫
Applicant, Patent owner： 日本碍子株式会社
Agent (1)： 杉村 暁秀 (外9名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997072799
Publication number (International publication number)：1997315867
Application date： Mar. 11, 1997
Publication date： Dec. 09, 1997
Summary：

【要約】【課題】高純度であって、かつ低い体積抵抗率を有する、新規な窒化アルミニウム焼結体を提供すること【解決手段】窒化アルミニウム結晶粒子中の希土類元素の含有量(酸化物への換算値)が150ppm以上、0.5重量%以下であり、希土類元素を除く金属不純物量が900ppm以下であり、カソードルミネッセンスによるスペクトルにおいて、350nm〜370nmの波長領域に主要ピークを有している。体積抵抗率が1×101 2 Ω・cm以下である。好ましくは、窒化アルミニウム結晶粒子の平均粒径が3.0μm以上であり、希土類元素の含有量が0.1重量%以下であり、金属不純物量が500ppm以下であり、またX線マイクロアナライザーによる各窒化アルミニウム結晶粒子の酸素濃度が0.5重量%以上である。

Claim (excerpt)：

希土類元素の含有量(酸化物への換算値)が150ppm以上、0.5重量%以下であり、希土類元素を除く金属不純物量が900ppm以下であり、カソードルミネッセンスによるスペクトルにおいて、350nm〜370nmの波長領域に主要ピークを有していることを特徴とする、窒化アルミニウム焼結体。

IPC (2)：

C04B 35/581 ,  H01L 21/68

FI (2)：

C04B 35/58 104 B ,  H01L 21/68 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭60-065768
  
• 特開昭60-071575
  
• 静電チヤツク
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-190023   Applicant：京セラ株式会社