セラミック多層基板の製造方法

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999307083
Publication number (International publication number)：2000315864
Application date： Oct. 28, 1999
Publication date： Nov. 14, 2000
Summary：

【要約】【課題】焼成時の平面方向への収縮を抑制し、寸法精度に優れ、高密度配線化を達成可能なセラミック多層基板の製造方法を提供すること。【解決手段】有機バインダおよび可塑剤を含むガラス・セラミックからなるガラス・セラミックグリーンシート2a〜2eと、このガラス・セラミックグリーンシートの焼成条件下では焼結しない無機組成物層3a〜3dとを交互に積層、圧着した後、この積層圧着体10をガラス・セラミックグリーンシート2a〜2eの焼成条件で焼成する。

Claim (excerpt)：

有機バインダおよび可塑剤を含むガラス・セラミックからなるガラス・セラミックグリーンシートを複数枚積層して積層体を形成し、該積層体を焼成するセラミック多層基板の製造方法において、前記ガラス・セラミックグリーンシートに対して、当該ガラス・セラミックグリーンシートより焼成温度が高い無機組成物を表面に塗布または重ね合わせる工程と、前記無機組成物を表面に塗布または重ね合わせたガラス・セラミックグリーンシートを複数枚積層し、前記積層体の一部を形成する工程と、前記ガラス・セラミックグリーンシートを複数枚積層し、前記積層体の他部を形成する工程とを有することを特徴とするセラミック多層基板の製造方法。

IPC (4)：

H05K 3/46 , B28B 11/00 , H01L 23/12 , H01L 23/13

FI (4)：

H05K 3/46 H , B28B 11/00 Z , H01L 23/12 N , H01L 23/12 C

F-Term (13)：

4G055AA08 , 4G055AC01 , 4G055AC09 , 4G055BA22 , 5E346AA43 , 5E346CC04 , 5E346CC16 , 5E346EE29 , 5E346FF18 , 5E346GG09 , 5E346GG15 , 5E346GG28 , 5E346HH31

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

多層セラミック基板の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-211100 Applicant：松下電器産業株式会社
多層セラミック基板の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-110567 Applicant：松下電器産業株式会社
特開平4-243978

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