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J-GLOBAL ID:200903089488102440

エア浮上式コンベア

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 森 治
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004013756
Publication number (International publication number):2005206304
Application date: Jan. 22, 2004
Publication date: Aug. 04, 2005
Summary:
【課題】エア浮上方式の搬送装置の利点を生かしながら、ガラスシート等の薄板搬送物に静電気を帯電させずに塵埃の付着や散乱が生じないようにすることができ、さらに、空気の消費量を少なくできるエア浮上式コンベアを提供すること。【解決手段】列状に配設した第1のノズル孔2から薄板搬送物1の下面側に向かって噴出する空気により、薄板搬送物1を浮上させるようにした第1の空気路2aと、列状に配設した第2のノズル孔3から噴出するイオナイザ8、9によってイオン化された空気により静電気を除去するようにした第2の空気路3aとを支持路Aに並列して形成する。【選択図】図1
Claim (excerpt):
列状に配設した第1のノズル孔から薄板搬送物の下面側に向かって噴出する空気により、薄板搬送物を浮上させるようにした第1の空気路と、列状に配設した第2のノズル孔から噴出するイオナイザによってイオン化された空気により静電気を除去するようにした第2の空気路とを支持路に並列して形成したことを特徴とするエア浮上式コンベア。
IPC (3):
B65G51/03 ,  B65G49/06 ,  H01L21/68
FI (4):
B65G51/03 C ,  B65G51/03 E ,  B65G49/06 Z ,  H01L21/68 A
F-Term (4):
5F031CA05 ,  5F031GA62 ,  5F031NA16 ,  5F031PA21
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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