浮上搬送装置用の帯電中和装置および浮上搬送システム

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：福森久夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998230943
Publication number (International publication number)：2000062953
Application date： Aug. 17, 1998
Publication date： Feb. 29, 2000
Summary：

【要約】【課題】本発明は、板状基体に対する気体の噴出によって、板状基体を浮上した状態にし、この状態で板状基体を移動、停止、静止および方向転換させる場合、板状基体に当たった気体によって、板状基体が帯電したとき、この板状基体の帯電を完全に中和することができる浮上搬送装置用の帯電中和装置および浮上搬送システムを提供する。【解決手段】搬送面1Aに空けられた複数の噴出孔11から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で搬送する浮上搬送装置に設けられた浮上搬送装置用の帯電中和装置において、搬送面1Aに設けられた溝部(第1収納部分31A、石英板31B、第2収納部分31C)と、この溝部内に設置されると共に、気体をイオン化する電磁波を溝部から、搬送面1A上の搬送空間に向けて出力する帯電中和部(UVランプ32、制御部33)とを設けた。

Claim (excerpt)：

搬送面に設けられた複数の噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で搬送する浮上搬送装置に設けられた浮上搬送装置用の帯電中和装置において、前記搬送面に設けられた溝部と、この溝部内に設けられると共に、前記気体をイオン化する電磁波を前記溝部から、前記搬送面上の搬送空間に向けて出力する帯電中和部とを設けたことを特徴とする浮上搬送装置用の帯電中和装置。

IPC (4)：

B65G 51/03 , B65G 49/06 , B65G 49/07 , H01L 21/68

FI (4)：

B65G 51/03 Z , B65G 49/06 Z , B65G 49/07 J , H01L 21/68 A

F-Term (3)：

5F031AA10 , 5F031CC52 , 5F031CC53

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

基板移載機構並びに基板移載装置並びに半導体製造装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-134513 Applicant：ソニー株式会社
基板搬送装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-108329 Applicant：大日本スクリーン製造株式会社
薄板状基体搬送装置及び薄板状基体搬送方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-328052 Applicant：株式会社渡邊商行

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