Pat
J-GLOBAL ID:200903089641042281

研磨用パッド及びその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 千田 稔
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001330677
Publication number (International publication number):2003136396
Application date: Oct. 29, 2001
Publication date: May. 14, 2003
Summary:
【要約】【課題】 ガラス基材等に用いる研磨用パッドの製造において、余剰の廃棄部分を発生させず、且つ簡単な分割作業でセグメントを形成すること、並びにラッピング定盤への配設固着が容易であるとともに均質な研磨面を得る。【解決手段】 該研磨用パッドの素材をロール状に捲回積層して円筒形、円柱形又は円板に形成する工程、該ロール状パッド材を輪切りにして任意の厚みの円板(ドーナツ形を含む)とする工程、該円板を分割する工程を含んで、複数のセグメントを製造する方法及び該方法により製造された研磨用パッドとする。
Claim (excerpt):
ラッピング定盤に配設される研磨用パッドであって、該研磨用パッドの素材を螺旋ロール状に捲回積層することにより研磨当接面に螺旋状ラインの接着剤層を有する円筒形、円柱形又は円板形のいずれかの形状に形成したことを特徴とする研磨用パッド。
F-Term (4):
3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB01 ,  3C058CB05
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)

Return to Previous Page