紫外線センサ及びその製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：岡田萬里
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007123885
Publication number (International publication number)：2008282881
Application date： May. 08, 2007
Publication date： Nov. 20, 2008
Summary：

【課題】バンドギャップの大きい物質の薄膜を安価な手段で作製し、小型・簡便な固体素子型の火炎センサとして利用可能な紫外線センサを提供する。【解決手段】酸化ガリウム単結晶を基板して当該基板上にゾル-ゲル法で酸化ガリウム薄膜を形成し、この酸化ガリウム薄膜上に少なくとも1対の表面電極を備えるか、或いは酸化ガリウム単結晶基板とこの基板上に形成された酸化ガリウム薄膜とにそれぞれ第1の電極と第2の電極とを形成する。酸化ガリウム薄膜は、150〜500nmの厚さを有するものが好ましい。【選択図】図5

Claim (excerpt)：

酸化ガリウム単結晶基板と、当該基板上に形成された酸化ガリウム薄膜と、当該酸化ガリウム薄膜上に形成された少なくとも1対の表面電極を備えていることを特徴とする紫外線センサ。

IPC (1)：

H01L 31/026

FI (1)：

H01L31/08 M

F-Term (7)：

5F088AA11 , 5F088AB07 , 5F088BA18 , 5F088BB10 , 5F088CB01 , 5F088CB11 , 5F088LA05

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

紫外線受光デバイスおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-142975 Applicant：出光石油化学株式会社
特許第3560462号公報

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