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J-GLOBAL ID：200903089868496491

3次元形状測定機

Inventor：
神谷 誠一

About 神谷 誠一


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 大塚 康徳 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002143420
Publication number (International publication number)：2003337018
Application date： May. 17, 2002
Publication date： Nov. 28, 2003
Summary：
【要約】【課題】円筒座標形を用いながら、高精度に被測定物の形状を測定することができるようにする。【解決手段】2つの直進軸であるR軸、Z軸と、1つの回転軸であるθ軸とを有する円筒座標系を用いて被測定物の3次元形状を測定する3次元形状測定機であって、θ軸回りに回転可能なθステージ9上に形成され、円筒面形状の端面であるスラスト面と側面であるラジアル面に基準面を有するθ基準ミラー16,17と、θステージの運動には影響を受けないように保持されている運動誤差検出用基準ミラー14a,14bと、θ基準ミラーと運動誤差検出用基準ミラーとの間の相対距離変動を測定する測長器13a,13bとを具備し、θ基準ミラーと、運動誤差検出用基準ミラーと、測長器とを用いてθステージの回転運動中に生じる運動誤差成分を検出し、被測定物の面測定結果からθステージの運動誤差成分の影響を除去するように補正を行う際に、あらかじめ算出しておいたθ基準ミラーのスラスト面及びラジアル面の面形状成分も補正に加える。
Claim (excerpt)：
2つの直進軸であるR軸、Z軸と、1つの回転軸であるθ軸とを有する円筒座標系を用いて被測定物の3次元形状を測定する3次元形状測定機であって、前記θ軸回りに回転可能なθステージ上に形成され、円筒面形状の端面であるスラスト面と側面であるラジアル面に基準面を有するθ基準ミラーと、前記θステージの運動には影響を受けないように保持されている運動誤差検出用基準ミラーと、前記θ基準ミラーと前記運動誤差検出用基準ミラーとの間の相対距離変動を測定する測長手段とを具備し、前記θ基準ミラーと、前記運動誤差検出用基準ミラーと、前記測長手段とを用いて前記θステージの回転運動中に生じる運動誤差成分を検出し、被測定物の面測定結果からθステージの運動誤差成分の影響を除去するように補正を行う際に、あらかじめ算出しておいた前記θ基準ミラーの前記スラスト面及びラジアル面の面形状成分も補正に加えることを特徴とする3次元形状測定機。
IPC (2)：
G01B 21/20 ,  G01B 11/24
FI (2)：
G01B 21/20 C ,  G01B 11/24 A
F-Term (43)：
2F065AA06 ,  2F065AA35 ,  2F065AA51 ,  2F065BB03 ,  2F065BB05 ,  2F065BB07 ,  2F065CC00 ,  2F065CC21 ,  2F065CC22 ,  2F065EE00 ,  2F065FF10 ,  2F065FF61 ,  2F065FF65 ,  2F065FF67 ,  2F065GG04 ,  2F065GG13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ05 ,  2F065LL12 ,  2F065MM04 ,  2F065MM07 ,  2F065PP03 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ17 ,  2F069AA62 ,  2F069AA66 ,  2F069AA77 ,  2F069BB40 ,  2F069CC07 ,  2F069CC08 ,  2F069EE04 ,  2F069EE23 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069GG11 ,  2F069GG58 ,  2F069GG65 ,  2F069HH09 ,  2F069JJ06 ,  2F069JJ17 ,  2F069MM04 ,  2F069MM23 ,  2F069NN18
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
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