ウェーハリングの供給装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：田辺良徳
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996280307
Publication number (International publication number)：1998107128
Application date： Oct. 01, 1996
Publication date： Apr. 24, 1998
Summary：

【要約】【課題】ウェーハリングがガイドレールに引っ掛かるのを防止でき、またウェーハリングをペレットピックアップ装置装置の治具ホルダの所定位置に位置決め搬送する。【解決手段】ウェーハリングカセット10からウェーハリング1が一対のガイドレール86A、86Bに搬送された時に、一対のガイドレール86A、86Bを閉じる方向に移動させてウェーハリング1の回転方向及び片寄りを修正する開閉機構を備えている。

Claim (excerpt)：

ペレットが貼付けられたウェーハシートが粘着固定されたウェーハリングを一定ピッチで収納するウェーハリングカセットと、このウェーハリングカセットを上下動させるエレベータ装置と、ウェーハリングカセットに収納されたウェーハリングを1個ずつ搬送してペレットピックアップ装置に供給するウェーハリング搬送手段と、このウェーハリング搬送手段によって搬送されるウェーハリングの両側端部を案内する一対のガイドレールとを備えたウェーハリングの供給装置において、前記ウェーハリングカセットからウェーハリングが前記一対のガイドレールに搬送された時に、前記一対のガイドレールを閉じる方向に移動させて前記ウェーハリングの回転方向及び片寄りを修正する開閉機構を備えていることを特徴とするウェーハリングの供給装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

ウエハリング供給方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-256966 Applicant：東芝精機株式会社
特開平3-124625
特開平3-124625

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