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J-GLOBAL ID：200903089913758214
表面-マイクロ技術による超音波変換器
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山口 巖
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1998519903
Publication number (International publication number)：2001502871
Application date： Oct. 28, 1997
Publication date： Feb. 27, 2001
Summary：
【要約】ドープされた領域(5)をその内部に有するシリコン基板(1)の上に、そのなかにエッチング除去された空所(8)を有する間隔層(7)と、空所を覆って間隔層の上に配置されるダイアフラム(2)とが位置しており、その際にドープされた範囲およびダイアフラムが接続接触部(4、6)を介して、同じく基板(1)のなかに集積されている電子的構成要素(13)と電気的に接続されている。電子的構成要素は、ダイアフラムの駆動およびダイアフラム振動の評価のためにも使用される作動回路の構成部分である。集積は、マイクロメカニックな変換器構成要素を、位相調整アレイとして電子的に駆動されるアレイとして配置することを可能にする。
Claim (excerpt)：
基板(1)の上に設けられた超音波変換器において、-基板のなかにドープされた領域(5)が構成されており、-間隔層(7)の上にこの範囲に対して間隔をおいてマイクロメカニックなダイ アフラム(2)が配置されており、-ドープされた領域とダイアフラムとの間に、基板に向けてダイアフラムの予定 されている最大の偏れを可能にする空所(8)が存在しており、-ダイアフラムが電気的に伝導性であり、またはダイアフラム面の範囲内に配置 されている電気的に伝導性の層(15)と機械的に接続されており、-ダイアフラムまたはそれと接続されている電気的に伝導性の層およびドープさ れた範囲が各1つの接続接触部(4、6)を設けられており、-電子的構成要素が基板上に集積されており、また-これらの構成要素が、ダイアフラムに超音波振動を励起させ、またはダイアフ ラムに存在する超音波振動を検出することを可能にする作動-および駆動回路 が形成されるように、互いにまた接続接触部と接続されていることを特徴とする超音波変換器。
IPC (3)：
H04R 17/00 330
, G01H 11/06
, H01L 41/09
H04R 17/00 330 J
, G01H 11/06
, H01L 41/08 U
Cited by examiner (9)
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