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J-GLOBAL ID：200903090026235760

赤外線検出器用真空パッケージ及びその製造方法

Inventor： 曽根 孝典 ,  杉野 隆紀 ,  秦 久敏 ,  中木 義幸 ,  出田 吾朗
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 青山 葆 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998128915
Publication number (International publication number)：1999326037
Application date： May. 12, 1998
Publication date： Nov. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】 受光部に真空気密を要するボロメータ方式、サーモパイル方式および焦電方式の赤外線検出器において、小型、低コストの真空パッケージを提供する。【解決手段】 シリコン基板1の上に形成した受光部2の前面に、赤外線の透過窓4を空隙3を有して配置し、透過窓4は受光部2を囲む範囲の接着面で、基板1に接着することにより固定する。シリコン基板を真空中に置くことにより、透過窓の貫通穴27から排気され、真空封止用ハンダ28を溶融することにより貫通穴27を封止し空隙3を真空にする。また、貫通穴を通してゲッタ30を空隙内に置き、空隙3を真空に封止した後ゲッタを活性化し、空隙内に高真空を得る。【効果】 透過窓とシリコン基板との接着により受光部を真空に気密できるので、小型で低コストの赤外線検出器用真空パッケージを得られる。

Claim (excerpt)：

基板上に受光部を形成した基板と、1個以上の貫通穴が設けられ、基板の該受光部の前面に空隙を隔てて配置された赤外線透過窓とからなり、基板と透過窓とは、該受光部を完全に囲む接着面で、相互に気密に接着することにより固定されており、基板と透過窓との空隙を該貫通穴から排気することにより真空とした後に透過窓の貫通穴が封止材料により気密に封止されていることを特徴とする赤外線検出器用真空パッケージ。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 赤外線検出器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-269671   Applicant：三菱電機株式会社