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J-GLOBAL ID：200903090035811391

ダスト除去装置及びダスト除去方法

Inventor： 曽我 伸一 ,  渡辺 昭仁 ,  斉藤 亮二
Applicant, Patent owner： 豊実精工株式会社 ,  株式会社ニックス
Agent (1)： 稲葉 良幸 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002146862
Publication number (International publication number)：2003334499
Application date： May. 21, 2002
Publication date： Nov. 25, 2003
Summary：

【要約】【課題】 ワークに付着したダストの除去を効果的に行え、装置全体を小型化することが可能であるダスト除去装置を提供する。ワークに付着したダストの除去を効果的に行うことができるダスト除去方法を提供する。【解決手段】 ワークを搬送するワーク搬送部4と、搬送されるワークにエアーを吹き付けるエアーブロー部5と、搬送されるワークに対し接触可能に配設され、当該ワークの搬送方向とは逆方向に回転する回転ブラシ6と、回転ブラシ6に付着したダスト100及びエアーブロー部5からワークに吹き付けられたエアーを吸引除去する集塵部7と、を備えたダスト除去装置1である。

Claim (excerpt)：

ワークに付着したダストを除去するダスト除去装置であって、前記ワークを搬送するワーク搬送部と、前記搬送されるワークにエアーを吹き付けるエアーブロー部と、前記搬送されるワークに対し接触可能に配設され、当該ワークの搬送方向とは逆方向に回転する回転ブラシと、前記回転ブラシに付着したダスト及び前記エアーブロー部からワークに吹き付けられたエアーを吸引除去する集塵部と、を備えたダスト除去装置。

IPC (5)：

B08B 5/00 ,  B08B 1/02 ,  B08B 1/04 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500

FI (5)：

B08B 5/00 A ,  B08B 1/02 ,  B08B 1/04 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500

F-Term (13)：

2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H090JC19 ,  3B116AA01 ,  3B116AA46 ,  3B116AB14 ,  3B116BA02 ,  3B116BA14 ,  3B116BB22 ,  3B116BB72 ,  3B116CD11 ,  3B116CD41

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭64-051180
  
• 基板洗浄装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-348062   Applicant：株式会社東芝, 東芝電子エンジニアリング株式会社
• 特開昭64-051180