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J-GLOBAL ID：200903090166193669

ターボ分子ポンプ

Inventor： 久保 雅英
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 西岡 義明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997081101
Publication number (International publication number)：1998274189
Application date： Mar. 31, 1997
Publication date： Oct. 13, 1998
Summary：

【要約】【課題】 コストアップや重量化を伴うことなく、ターボ分子ポンプのケーシングを真空容器等に確実に取り付ける。【解決手段】 取付冶具を介して支持体にケーシング50が取り付けられ、このケーシング50内の排気用翼体2およびモータのロータを備えたものであり、排気用翼体2が回転中に破損したとき、その破損部品の回転エネルギーがケーシングに伝わるが、そのエネルギーにより回転しようとするケーシング50が真空容器を破壊しようとするエネルギーは、衝撃緩衝機構により吸収される。

Claim (excerpt)：

取付冶具を介して支持体にケーシングが取り付けられ、このケーシング内の排気用翼体およびモータのロータを備えたターボ分子ポンプにおいて、前記取付冶具に、前記回転体が破損したときの破損部品が有する回転エネルギーを吸収する衝撃緩衝機構を設けたことを特徴とするターボ分子ポンプ。

IPC (2)：

F04D 19/04 ,  F04D 29/60

FI (2)：

F04D 19/04 H ,  F04D 29/60 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• ターボ分子ポンプ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-250517   Applicant：三菱重工業株式会社
• 特開昭64-026008