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J-GLOBAL ID：200903090200764638

表面処理された成膜装置用部品および成膜装置用部品の表面処理方法

Inventor： 幸 一也 ,  中島 禎宏
Applicant, Patent owner： 株式会社新菱
Agent (1)： 岡田 数彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999329893
Publication number (International publication number)：2001152317
Application date： Nov. 19, 1999
Publication date： Jun. 05, 2001
Summary：

【要約】【課題】成膜装置内で好適に使用される表面処理された成膜装置用部品を提供する。【解決手段】凹凸粗面の表面を有し且つ凹部の表面と凸部の表面とが実質的に同一の粗度(Ra)を有している。斯かる成膜装置用部品は、例えば、金属溶射によって下地層を形成した後、網目状開口を有するスクリーンを使用し当該網目状開口を通じて金属を溶射することにより上記の下地層の表面に凹凸粗面を形成し、次いで、ビーズブラスト処理によって凹凸粗面の凹部を除去することにより製作される。

Claim (excerpt)：

成膜装置内で使用される成膜装置用部品であって、凹凸粗面の表面を有し且つ凹部の表面と凸部の表面とが実質的に同一の粗度(Ra)を有していることを特徴とする表面処理された成膜装置用部品。

IPC (4)：

C23C 14/00 ,  C23C 4/08 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/31

FI (4)：

C23C 14/00 B ,  C23C 4/08 ,  C23C 16/44 B ,  H01L 21/31 A

F-Term (21)：

4K029DA10 ,  4K029FA02 ,  4K030KA12 ,  4K030KA46 ,  4K030KA47 ,  4K031AA08 ,  4K031AB03 ,  4K031BA01 ,  4K031BA06 ,  4K031CB08 ,  4K031CB39 ,  4K031DA01 ,  4K031DA03 ,  4K031DA04 ,  4K031FA13 ,  5F045AA18 ,  5F045AA19 ,  5F045BB15 ,  5F045BB17 ,  5F045EB02 ,  5F045EC05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 薄膜形成装置用部材およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-006759   Applicant：トーカロ株式会社