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J-GLOBAL ID:200903090281254841

パタンムラ検査装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 鈴木 晴敏
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994300059
Publication number (International publication number):1996159984
Application date: Dec. 05, 1994
Publication date: Jun. 21, 1996
Summary:
【要約】【目的】 目視に頼らず自動的に被検査物のパタンムラを高精度に検出判定し得るパタンムラ検査装置を提供する。【構成】 周期パタンを有する被検査物1をCCDセンサ4で撮像し全画素データを求め輝度値G(X,Y)を得る。次に、画像処理用のフィルタ3を用いてフィルタに含まれる全画素の輝度データG(X,Y)を合算した輝度値N(X,Y)を求め、更に特定のY方向範囲におけるN(X,Y)の値の合算値H(X)を算出し、閾値と比較してパタンムラを求める。以上の演算処理は画像処理装置6により行われる。また、カラーフィルタのパタンムラは光学カットフィルタ等を用いて色を切り出して集合し色ムラを強調した加工画像を求める。更に、撮像時において微少量だけ撮像位置をずらして画素データをとり、各フレームを重ね合わせた合成画像を基にしてパタンムラの検出を行う。
Claim (excerpt):
周期パタンを有する被検査物の原画像を読み取る撮像手段と、前記原画像を加工処理して前記周期パタンに含まれるムラを強調した加工画像を生成する処理手段と、前記加工画像を演算処理して前記ムラを検出する演算手段とを備えた検査装置であって、前記処理手段は、前記周期パタンの所定周期分に対応したフィルタを用いて該フィルタに含まれる原画像の画素データを遂次合算し、その値を新たな画素データとして前記加工画像を作成することを特徴とするパタンムラ検査装置。
IPC (2):
G01N 21/88 ,  G01B 11/24
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)
  • 斑検出方法および装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平5-109280   Applicant:東芝エンジニアリング株式会社

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